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精密多轴直线电机平台
HC-XY二维直线平移台
所属类别：精密多轴直线电机平台
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详细内容
产品介绍：
直线电机平台优异的高速、高精度正逐渐成为工业自动化、高精密加工、高精度测量方面越来越多用户的首选，高精度交叉滚柱导轨首先赋予了平台远超直线循环滚子类导轨更为优秀的直线度、
平面度以及负载能力，同时高分辨率的光栅全闭环反馈以及一体式的结构设计，让平台拥有非常可靠的稳定性。
技术指标：
型号
HCXY-50XY
HCXY-100XY
HCXY-150XY
HCXY-200XY
外形
150*150*80mm
205*205*80mm
280*280*80mm
350*350*80mm
行程（mm）
50mmX50mm
100mmX100mm
150mmX150mm
100mmX100mm
重复定位精度
≤±200nm
≤±200nm
≤±200nm
≤±200nm
决对定位精度
≤±200nm
≤±200nm
≤±200nm
≤±200nm
分辨率
(5um 1um 0.5um o.1um 10nm 5nm等)可选
直线度
4um
4um
6um
8um
平面度(um)
4um
4um
6um
8um
上下偏摆
10arcsec
12arcsec
12arcsec
15arcsec
左右偏摆
5arcsec
6arcsec
6arcsec
8arcsec
正交性
5arcsec
5arcsec
5arcsec
5arcsec
最大推力
88N
88N
132N
289N
持续推力
17.6N
17.6N
26.4N
58N
最大速度
500mm/s
500mm/s
500mm/s
500mm/s
最大加速度
6G(X)3.2G(y)
2.6G(X)1.2G(y)
2.5G(X)1G(y)
2.3G(X)0.9G(y)
水平最大负载
10kg
15kg
20kg
25kg
运动部分质量
1.4kg(X)2.8kg(Y)
3.4kg(X)7.2kg(Y)
5.2kg(X)13kg(Y)
12.4kg(X)30kg(Y)
材质
铝合金
铝合金
铝合金
铝合金
自重
9.5kg
9.5kg
9.5kg
9.5kg
