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精密多轴直线电机平台
XYR直驱精密对位平台
所属类别：精密多轴直线电机平台
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详细内容
产品介绍：
三轴精密直驱精密对位平台
采用直线电机驱动
全闭环机构,操作简单，可靠性远高于通过拟合运动的直线对位平台
主要参数：
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XY有效行程 |
±110mm |
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R轴有效形成 |
±5° |
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XY轴分辨率 |
0.5um |
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XY轴最小步长 |
1um |
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R轴分辨率 |
1.5sec |
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R轴重复定位精度 |
≤±5sec |
外形尺寸：
无需算法控制，XYR直接调节
使用寿命高达：3年
上一个：HC-XY二维直线平移台
