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精密多轴直线电机平台
HCQ三轴精密气浮运动台
所属类别：精密多轴直线电机平台
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详细内容
产品特点
1、非接触式气浮导轨结构
2、直驱直线电机驱动
3、龙门结构，大理石平台刚度大稳定性好
4、定位精度±0.3um，重复定位精度±0.1um
5、Z轴采用重力平衡气缸，确保的运行精度
6、优化线缆管理系统
7、根据需求可定制化设计
我司制造的大行程三轴气浮运动台用于晶圆激光加工行业，气浮非接触式结构已经证明是精密应用中的理想选择。这种结构可接受定制大行程，增加多工位，提升工作效率。
底轴Y轴用于微动调整步进，微动步距10nm，气浮结构保证了高直线度。上轴X轴搭载激光用于快速扫描切割晶圆，高平面度指标保证了理想的切割直线，同时能够实现高动态响应和快速位置整定，Z轴采用低摩擦气缸配重，用于微调整，气浮结构有效的提升了垂直方向上的性能，行程可定制。
大理石龙门结构设计，刚性好，稳定性高。大理石基座上可以增加多个Y轴，龙门架X轴行程可定制，提升工作效率。
精心优化管线弯曲半径，防止动作过程中线缆的拉伸影响到气浮台
技术参数：
型号
HCQ-400-400-150
HCQ-500-500-150
HCQ-600-600-150
运动轴
X
Y(底）
Z
X
Y(底）
Z
X
Y(底）
Z
行程（mm）
400
400
150
500
500
150
600
600
150
重复定位精度（um）
±0.3
分辨率（nm）
±0.1
最大速度(m/S)
1
0.2
1
0.2
1
0.2
加速度(g)
1
0.2
1
0.2
1
0.2
直线度(um)
±0.5
速度稳定性（@v=200mm/S）
0.01%
负载（KG）
15
10
15
10
15
10
三轴超精密气浮运动台 笛卡尔龙门系统
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