18571651663
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地址:武汉东湖新技术开发区关山二路特1号国际企业中心3栋
XYR精密直线电机平台
特性:
高精度:分辨率0.1um.重复精度1um,定位精度2um
高速度:直线导轨、峰值速度3m/s 匀速段速度波动低于0.10%
高响应:特殊设计的镂空花岗石基座和航空铝连接构件,MAX10G加速度,优异的加加速度控制
应用于:
晶圆光学探针检测、视觉高精度扫描检测、精密3D打印、LED高速焊接、激光加工、平板显示器制造、高速高精度机床。
技术参数:
行程(mm)
X200 ,Y 400, R360
直线度(μm)
X5 Y5
重复精度(nm)
X±1 ,Y±1(分辨率0.1μm)
X-Y垂直度(arc-sec)
±5
R轴重复精度(acr-sec)
±2.5
额定负载(kg)
10(MAX40)
最大加速度(m/s²)
X15 Y8
X动负载(kg)
9.48
匀速速度(mm/s)
X300 Y500
Y动负载(kg)
46.26
匀速段长度(mm)
X186.5 Y329.69
总质量(kg)
92.6
工作周期(ms)
X1000 Y1700
外观
黑色阳极
导轨类型
滚柱or滚柱线轨
基座材质
XY花岗石