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HCAR气浮转台
所属类别：电动旋转台
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详细内容
产品特点：
闭式气浮轴承结构
直驱驱动，零齿槽效应
高速度稳定性
纳米级跳动误差
重复定位精度±0.5角秒
背景介绍
HCAR系列气浮旋转台在极低的外形封装中提供高定位精度、高速度稳定性和纳米级跳动。HCAR的设计满足生物检测、晶圆检测、高精度计量、X射线衍射系统、光学检测和制造以及MEMS/纳米技术设备制造等高端行业。
密封式设计
对直驱旋转台进行了优化设计，使工作台面降到最低，这种设计结构有效的降低了工作点的高度，最大减少了因与其他轴叠层安装引起的阿贝误差。密封式结构具有高刚度和大负载承重，不仅有较低的轴向和径向端跳误差，而且倾角误差比较小，由此产生的面误差明显优于其它气浮转台或气浮主轴，有利于各种应用。
非接触式结构
采用无齿槽无刷电机和气浮轴承，较大的提高了定位性能。电机采用先进的磁路设计，以最小的热量产生高扭矩输出，无齿槽设计固有的零齿槽效应和扭矩波纹折射，这使得非常适合在低速或高速下平滑快速旋转等应用。
高精度性能
气浮转台采用精密圆光栅反馈，先进的驱动控制对光栅信号细分，分辨率0.01角秒，轴向跳动误差＜100nm。
定制化设计
气浮转台可安装滑环，用于测试速度稳定性，MEMS和惯性导航等应用。
技术参数：
产品型号
HCAR-100
HCAR-200
HCAR-300
行程
360°
台面直径
88mm
188mm
288mm
驱动方式
直驱力矩电机
定位精度
±1arc sec
双向重复精度
±0.5arc sec
同步轴向跳动
100nm
同步径向跳动
100nm
电子分辨率
0.01nm
最大速度 (空载)
300rpm
摆动
3μrad
最大负载
50 Kg
工作气压
0.5±0.05 MPa
气浮转台
