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产品特点
采用碳化硅陶瓷气浮导轨，超性能精度
速度1m/s，快速的整定时间
Y轴双驱双龙门结构，承载能力强
可选光栅或激光干涉仪位置反馈
定位精度±0.15μm，重复定位精度±75nm
优化线缆管理系统
根据需求可定制
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